1。低X線エネルギー： 軽い要素（B、C、N、O、Fなどのような原子数が低い要素）は、非常に低いエネルギーでX線を放出します。これらの低エネルギーX線：
* サンプル自体に簡単に吸収される： 自己吸収として知られるこの現象は、放出されたX線の強度を低下させ、それらを検出するのが難しくなります。
* 空気吸収の影響を非常に受けやすい： サンプルと検出器の間の少量の空気でさえ、これらの低エネルギーX線を大幅に減衰させる可能性があります。
* 検出器ウィンドウで吸収できます： 多くのXRF検出器には、検出器を保護するために低エネルギーX線を除去するウィンドウがあります。これにより、光要素からの信号がさらに減少します。
2。低蛍光収率： 光要素は蛍光収率が比較的低いため、励起された原子のごく一部のみが実際にX線を放出することを意味します。これにより、全体的な信号強度が低下します。
3。バックグラウンド放射からの干渉： 光要素からの低エネルギーX線は、バックグラウンド放射によって簡単にマスクされる可能性があるため、信号をノイズから分離することが困難になります。
4。標準XRF機器の限られた感度： ほとんどの標準XRF機器は、より重い元素の分析用に設計されており、光要素の検出に最適化されていません。
5。マトリックス効果： サンプル内に他の要素が存在すると、光要素からの放出されたX線の強度に影響を与える可能性があり、濃度を正確に定量化することが困難になります。
これらの制限を克服する：
これらの課題にもかかわらず、XRFを使用して光要素の分析を改善するために使用できる手法があります。
* 真空またはヘリウム大気： 真空またはヘリウム大気を使用すると、低エネルギーX線の空気吸収を最小限に抑えることができます。
* 特別な検出器： シリコンドリフト検出器（SDD）などの低エネルギーX線用に特異的に設計された検出器は、感度を高めることができます。
* 特別なサンプル準備： 薄いサンプルまたは特別なサンプルホルダーは、自己吸収を最小限に抑えることができます。
* 高度なデータ分析手法： 洗練されたアルゴリズムを使用して、マトリックス効果とバックグラウンド放射を補正できます。
代替手法：
次のような他の分析手法：
* 電子プローブ微小分析（EPMA）： 光要素に対してより高い感度を提供します。
* X線光電子分光法（XPS）： 光要素の化学的状態に関する情報を提供できます。
XRFで十分ではない場合、光要素の分析には多くの場合望まれます。
