これがどのように機能しますか:
* 電子ビーム: 電子の焦点を合わせたビームは、標本の表面に向けられています。
* 相互作用: 梁の電子は、標本の原子と相互作用します。いくつかの電子は吸収され、いくつかは標本を介して送信され、いくつかは後方散乱 (跳ね返り)標本から。
* 検出器: 特別な検出器は、後方散乱した電子をキャプチャします。
* パターン分析: 後方散乱電子のパターンは、試験片の結晶構成に依存します。このパターンを分析して、材料の結晶構造と方向を決定します。
キーポイント:
* 電子は実際に文字通りの意味で表面から跳ね返っていません。 代わりに、それらは標本内の原子の電子と相互作用しており、散乱と方向の変化につながります。
* 後方散乱電子は、標本の結晶構成に関する情報を提供します。 この情報は、材料の特徴づけ、段階の識別、粒子のサイズと形状の決定に使用されます。
EBSDは、材料科学、地質学、生物学など、さまざまな分野で使用される強力な手法です。