1。弾性散乱：
* 何が起こるか： 電子は、エネルギーを失うことなく、試験片の原子の静電界によって偏向されます。このタイプの相互作用は、透過型電子顕微鏡（TEM）の画像形成の主な原因です 、散乱電子がスクリーンまたは検出器に投影され、拡大した画像が作成されるため。
* 運命： 一部の電子は大きな角度に散らばっており、目的の開口部によってブロックされ、画像のコントラストに寄与します。その他は小さな角度に散らばっており、全体的な信号に寄与します。
2。非弾性散乱：
* 何が起こるか： 標本の電子との相互作用により、電子はエネルギーの一部を失い、原子またはイオン化の励起をもたらします。これは、TEMとの両方の走査型電子顕微鏡（SEM）で発生します 。
* 運命：
* tem： 非弾性散乱電子は、回折パターンに寄与します およびエネルギー損失分光法（EELS） 、標本の化学組成と結合に関する情報を提供します。
* sem： 非弾性散乱電子は、後方散乱電子（BSE）イメージングに使用できます 、標本の原子番号に関する情報を提供します。残りのエネルギーは二次電子（SE）として失われる可能性があります 、表面から放出され、二次電子イメージングに使用されます 、地形情報を提供します。
3。吸収：
* 何が起こるか： 一部の電子は、標本との相互作用ですべてのエネルギーを失い、吸収されます。これは、厚さの標本でより容易に発生します 。
* 運命： 吸収された電子は熱生成に寄与します 標本内で、潜在的に損傷を引き起こします。
4。 Bremsstrahlung：
* 何が起こるか： 高エネルギー電子は原子の核と相互作用し、 bremsstrahlung放射を生成します （X線）。この現象は、 sem でより顕著です 。
* 運命： X線を検出して使用でき、エネルギー分散X線分光法（eds） 、標本の元素組成に関する情報を提供します。
要約：
電子顕微鏡で標本と相互作用する電子の運命は多面的です。それらは、弾性または非伸長に散在したり、吸収されたり、X線を生成したりできます。各相互作用は、標本の構造、構成、および特性に関する貴重な情報を提供します。
これらの相互作用の相対的な割合は、特定の顕微鏡、標本、電子ビームエネルギーによって異なります。 これらの相互作用を理解することは、電子顕微鏡から得られたデータを解釈し、意味のある洞察を抽出するために重要です。
