反応のバランスの取れた化学式は次のとおりです。
geo₂（s） + 4 hf（aq）→gef₄（g） + 2h₂o（l）
これが反応の内訳です：
* ヒドロフルオリ酸（HF） 酸とフッ化物イオンの供給源の両方として作用します（F⁻）。
* 二酸化ゲルマニウム（geo₂） 固体酸化物です。
* ゲルマニウムテトラフルオリド（gef₄） 揮発性ガスです。
* 水（h₂o） 副産物として生成されます。
反応は、geo₂とHFの間に中間錯体の形成を介して進行し、それが分解してgef₄と水を形成します。この反応は、さまざまなゲルマニウムベースの材料の重要な前駆体であるゲルマニウムテトラフルオリドの合成に使用されます。
