SEM（走査型電子顕微鏡）やTEM（透過電子顕微鏡）などの電子顕微鏡と組み合わせて使用されるEDS検出器は、半導体技術 、主にシリコンまたはゲルマニウム、サンプルから放出されるX線を検出します。
液体窒素が ではない理由は次のとおりです EDSで使用：
* 冷却： 液体窒素は、主に極低温冷却に使用されます 、多くの場合、冷却超伝導磁石や一部の特殊な検出器など、非常に低い温度を必要とするアプリケーションでは、標準のEDS検出器ではありません 。 EDS検出器は電子冷却に依存しています 操作中に発生した熱を管理するため。
* X線検出： EDS検出の原理は、X線とA 半導体結晶との相互作用に依存しています 。 X線光子が半導体に衝突すると、電子穴ペアが作成されます。 X線光子のエネルギーは、電子穴ペアのエネルギーに直接比例し、次に測定されます。
* 他の機器における液体窒素の役割： 液体窒素はです WDS（波長分散X線分光法）などの他の分析機器で使用 、X線検出にさまざまな原則を使用します。 WDSでは、液体窒素は分析結晶を冷却し、その感度と分解能を改善します。
要約：
EDS検出器は、冷却または検出に液体窒素を使用しません。彼らは、効率的で信頼性の高いX線検出のために、半導体技術と電子冷却に依存しています。
