固体では、拡散は、原子または分子を固定位置に保持する強力な原子間結合のため、非常に遅いプロセスです。固体には、剛性の原子配置を備えたより秩序化された構造があり、液体やガスに比べて拡散がより困難になります。固体の拡散速度は、温度、拡散種のサイズ、固体の結晶構造など、いくつかの要因に依存します。一般的に、固形物が拡散するには長い時間がかかる場合があります。たとえば、一部の金属では、原子の拡散には室温で発生するまでに何年もまたは何世紀もかかる場合があります。半導体などの他のケースでは、熱を適用したり、原子の可動性を高めるために結晶格子に欠陥を導入することにより、拡散が加速される場合があります。