1。静電焦点：
* 静電レンズ： これらは、それらの間に潜在的な違いが適用される金属シリンダーです。これにより、電子の収束レンズのように作用する電界が作成されます。電子は、正に帯電したシリンダーに引き付けられ、負に帯電したシリンダーによって撃退され、その経路が収束します。
* 利点： シンプルなデザイン、高い集中力、および良好な安定性。
* 短所： 迷った電荷の影響を受ける可能性があり、高エネルギーでの焦点の焦点が限られています。
2。磁気焦点：
* 磁気レンズ： これらは、電磁コイルを使用して磁場を作成します。磁場線は形成されてレンズのような効果を形成します。電子は磁場によって偏向され、その経路が収束します。
* 利点： 高焦点強度、高エネルギー電子の方が良い、迷った電荷の影響を受けにくい。
* 短所： より複雑な設計は、外部ソースからの磁場の影響を受ける可能性があります。
3。組み合わせたフォーカス：
* 電磁レンズ： これらのレンズは、静電界と磁場の両方を組み合わせて、最適な焦点を達成します。これらは、高性能電子顕微鏡やその他の厳しい用途で使用されます。
* 利点： 最高の集中力、安定性、汎用性。
* 短所： 単一のフィールドレンズよりも複雑で高価です。
4。その他のフォーカス方法：
* 四重極レンズ： これらのレンズは、4つの極のセットを使用して、一方の方向にビームを焦点を合わせ、別の方向に解体する磁場を作成します。
* Octupoleレンズ： 四重極レンズに似ていますが、高次補正用の8つの極があります。
フォーカスに影響する要因：
* 電子エネルギー： より高いエネルギー電子は、運動量が増加するため、焦点を合わせるのがより困難です。
* ビーム電流： より高い電流は、スペースチャージ効果を引き起こす可能性があり、ビームを装飾できます。
* レンズ異常： すべてのレンズには、焦点を合わせたビームを歪める可能性のある欠陥があります。
電子ビームフォーカスのアプリケーション：
* 電子顕微鏡： 電子ビームをサンプルに集中させることにより、小さなオブジェクトの画像を拡大するために使用されます。
* 電子ビームリソグラフィ： 積分回路用の半導体ウェーハに複雑なパターンを作成するために使用されます。
* 医療イメージング： X線装置およびその他の医療イメージングデバイスで使用されます。
* 粒子加速器： 粒子のビームを加速および焦点を合わせるために使用されます。
全体として、フォーカス方法の選択は、特定のアプリケーションと望ましいパフォーマンスに依存します。
