SIF4の分子は四面体形状を持っています。これは、シリコン原子に4つの価電子があり、これらの電子のそれぞれがフッ素原子と共有されているためです。 4つのフッ素原子は、シリコン原子の周りに四面体の形状で配置され、各フッ素原子は四面体の四隅の1つを占めています。
